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深圳市夢啟半導體裝備有限公司

晶圓拋光機廠家
晶圓拋光機廠家

熱烈祝賀夢啟半導體裝備-全自動晶圓減薄機量產交付

瀏覽量 :
發布時間 : 2022-04-05 10:42:56

在公司員工共同努力下,于2022年4月3日,深圳市夢啟半導體裝備有限公司全自動晶圓減薄機量產交付了,值得祝賀。

全自動晶圓減薄機量產交付

這批全自動超精密晶圓減薄機是一款功能全面,兼容性好,配置豐富,全自動系統的高精度研磨設備。全自動上下料,可進行4寸(40um)~ 12寸(80um)超薄晶圓加工。具有諸多設備優勢:


1、減薄單元采用軸向進給(ln-Feed)磨削原理,兼容Φ100~300mm晶圓磨削減薄加工。


2、設備配有MARPOSS在線測量儀單元,加工時實時測量產品厚度,精確控制減薄厚度。也可選配非接觸測量NCG單元。


3、設備核心是具有自主產權的2個靜壓氣浮磨削主軸、3個高精度晶圓主軸及1個高剛度大直徑氣浮回轉工作臺構造的全自動磨削減薄機。


4、全自動上下料??蛇M行4寸(40um)~ 12寸(80um)超薄晶圓加工。


5、分別在前面、左面、右面各配置了1臺觸摸式液晶顯示器,方便在不同區域作業需求,提高了操作便利性??刂飘嬅婵赏斤@示加工狀況和設備狀態,操作人員只要觸摸控制畫面上的按鈕,就可以簡單地完成操作。




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